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高低溫真空探針臺(tái)系統(tǒng)主要用于為被測(cè)芯片提供一個(gè)低溫或者高溫的變溫測(cè)量環(huán)境，以便測(cè)量分析溫度變化時(shí)芯片性能參數(shù)的變化。腔體內(nèi)被測(cè)芯片在真空環(huán)境中有效避免易受氧化半導(dǎo)體器件因接觸空氣所帶來的測(cè)試結(jié)果誤差，是材料學(xué)、芯片、半導(dǎo)體器件等方向?qū)嶒?yàn)分析的理想選擇。
高低溫真空探針臺(tái)系統(tǒng)主要用于為被測(cè)芯片提供一個(gè)低溫或者高溫的變溫測(cè)量環(huán)境，以便測(cè)量分析溫度變化時(shí)芯片性能參數(shù)的變化。腔體內(nèi)被測(cè)芯片在真空環(huán)境中有效避免易受氧化半導(dǎo)體器件因接觸空氣所帶來的測(cè)試結(jié)果誤差，是材料學(xué)、芯片、半導(dǎo)體器件等方向?qū)嶒?yàn)分析的理想選擇。
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